石墨坩埚

石墨坩埚的中心规划要害

资料挑选与复合结构

主体资料：以天然鳞片石墨为主，因其具有耐高温（可达3000℃以上）、导热性优异（热导率约100-150W/(m·K)）、化学安稳性强（常温下不与大多数酸碱反响）等特性。

复合结构：针对特定场景（如熔炼生动金属），选用外层石墨+内层氮化硼（BN）的复合规划。BN耐超高温（熔点约3000℃）且化学慵懒极强，可防止金属与石墨反响，但本钱较高且脆性大，因此仅用于内层防护。

热场均匀性规划

单环结构：坩埚边沿设置单环，便于用坩埚钳夹持，保证搬运过程中安稳操作。

石墨套筒：在碳化硅晶体生长设备中，通过石墨套筒将坩埚差异为资料区与非资料区，套筒侧壁开设倾斜通孔（与轴线成30°-70°角），防止资料窜流，一同保证热场均匀性。